測定例

概要

シリコンカーバイド(SiC)は低損失であろうと思われていましたが、今まで信頼のおける測定データはありませんでした。 EMラボ社はファブリベロ共振器を用いたシリコンカーバイドの測定データを2024年のIMS/ARFTGで発表し、世界に驚きの声を巻き起こしました。 共同研究者の Cornell 大学からも関連論文がIEEE Journal of MicrowaveとApplied Physics Lettersに採択されています。 このデータはシリコンカーバイドとサファイアと石英ガラス（Fused Silica）の誘電率（Dk）と誘電正接（Df）の測定値を比較したものです。 シリコンカーバイドがサファイアを超える低損失特性を持つことがはっきりとみられます。 これも、110-170GHzという高周波において、10^-4を下回る低損失のデータを安定して測定できるEMラボのファブリベロ共振器があっての発見です。

システム構成

• ファブリペロー共振器 Dバンド FP-D
• ファブリペロー共振器用　誘電率測定ソフトウェア　FP-MA
• ネットワークアナライザ：　N5290A（キーサイト・テクノロジー社製）
• Mini VNAX周波数拡張モジュール：N5262BW06（キーサイト・テクノロジー社製）

試料

シリコンカーバイド 98μm

サファイア　306μm

石英ガラス　173μm

測定結果