測定例

概要

500 um厚のアルミナがスプリットシリンダで測定できるようになりました。 通常のソフトでは100 µm以下に加工する必要がありましたが、新開発のソフト（特注品）を使用することで厚い試料にも対応できます。 セラミックスなど超低損失で比較的誘電率が高く、薄く加工することが難しい材料の評価に非常に有効です。PTFEなど低誘電の材料であれば1 mm厚でも測定可能です。

システム構成

• スプリットシリンダ共振器 10/20/24/28/35/40 GHz CR-7xx
• スプリットシリンダ共振器用　高誘電率測定ソフトウェア　（特注品）
• ネットワークアナライザ：　P5007A（キーサイト・テクノロジー社製）

試料

アルミナ99.9% 550 µm, イットリア 520 µm、フォルステライト 540 µm、PTFE 1 mm

測定結果